Полные тексты ресурсов ЭБС доступны только авторизованным пользователям.
Автор(ы):Белоусов Р. А. Заглавие: Разработка режима осаждения SiO2 из тетраэтоксисилана на установках LPCVD : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Илюшин Владимир Александрович. Выходные данные: Новосибирск, 2022. Полное описание